Title:
蛍光体パネルの製造方法、蛍光体パネル、イメージインテンシファイア、及び走査型電子顕微鏡
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6695461
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】金属反射膜の剥離を効果的に抑制することができる。【解決手段】蛍光体パネル３０の製造方法は、出射窓１２上に複数の蛍光体粒子５１を有する蛍光体層５２を形成する工程と、蛍光体層５２上に有機膜６１を形成する工程と、有機膜６１上に金属反射膜５３を形成する工程と、焼成により有機膜６１を除去する工程と、原子層堆積法によって、金属反射膜５３の表面と蛍光体粒子５１の表面とを一体的に覆う酸化物膜５４を形成する工程と、を含む。【選択図】図３
Inventors:
Yasumasa Hamana
Hiroyuki Watanabe
Shimano Kenshi
Hirohito Nishizawa
Hiroyuki Watanabe
Shimano Kenshi
Hirohito Nishizawa
Application Number:
JP2019028122A
Publication Date:
May 20, 2020
Filing Date:
February 20, 2019
Export Citation:
Assignee:
Hamamatsu Photonics Co., Ltd.
International Classes:
H01J9/22; H01J1/70; H01J29/28; H01J37/244
Domestic Patent References:
| JP53118967A | ||||
| JP2010267634A | ||||
| JP6049544A | ||||
| JP201695189A | ||||
| JP5216542A | ||||
| JP1243345A | ||||
| JP2013216800A | ||||
| JP201393172A |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiki Hasegawa
Yoshiki Kuroki
Kenichi Shibayama
Oka Saki Oshi
Yoshiki Kuroki
Kenichi Shibayama
Oka Saki Oshi