Title:
フッ素樹脂コーティングプレート及び吸着ステージ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4639313
Kind Code:
B2
Inventors:
Takehara Noboru
Hiromichi Tatsusaki
Hiromichi Tatsusaki
Application Number:
JP2009002942A
Publication Date:
February 23, 2011
Filing Date:
January 08, 2009
Export Citation:
Assignee:
Nippon Fusso Industry Co., Ltd.
Taito Electric Co., Ltd.
Taito Electric Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/683; B23C3/12; B23C3/28
Domestic Patent References:
| JP2007180094A | ||||
| JP2003249540A | ||||
| JP2003037156A | ||||
| JP2007134391A | ||||
| JP2006305713A |
Other References:
平 晋一郎、吉岡 正人,フッ素樹脂を基板材料とするマイクロ流体デバイスの開発 -切削による基板の微細加工および簡易構造マイクロ流体デバイスの試作-,砥粒加工学会誌,日本,社団法人 砥粒加工学会,2007年 2月,Vol. 51, No. 2,PP. 112-117
Attorney, Agent or Firm:
Kazuhiro Kiyohara