Title:
異物除去方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024000701
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】チャックテーブルのポーラス板の外周部に詰まった異物を効果的に除去することが可能な異物除去方法を提供する。【解決手段】ポーラス板の外周部よりも内側の部分が押圧部材によって覆われた状態でポーラス板の外周部から流体を噴出させる。この場合、流体供給源から供給される流体の大半がポーラス板の外周部を通る。そのため、この場合には、チャックテーブルのポーラス板の外周部に詰まった異物を効果的に除去することが可能となる。【選択図】図７
Inventors:
Keita Tomonari
Application Number:
JP2022099555A
Publication Date:
January 09, 2024
Filing Date:
June 21, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B23Q3/08; B23Q11/00; B24B7/00; B24B7/04; B24B41/06; B24B55/06; H01L21/683
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato