Title:
ガスセンサー
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017526941
Kind Code:
A
Abstract:
ガス（１）の特性を測定するためのガスセンサー（２）は、測定されるべきガス（１）と接触しているガスインターフェース部分（２０）と、測定チャンバ（１６）、測定チャンバ（１６）をガスインターフェース部分（２０）に流体的に接続する第１の抵抗通路（１８）、測定チャンバ内の圧力の変化を生じさせるように構成された圧力発生器（２５）、および測定チャンバ内のガスの圧力の時間依存性変動を測定するように構成された圧力センサー（２８）を含む、測定チャンバシステム（１５）と、を含む、ガス粘度センサー（４）を含み、抵抗通路を通るガスの流れに起因する測定チャンバ内の圧力の時間依存性変動は、ガスの粘度と相関している。ガス粘度センサーは、基準チャンバと、基準チャンバ（２２）をガスインターフェース部分（２０）に流体的に相互接続する第２の抵抗通路（２４）と、を含む、基準チャンバシステム（２１）をさらに含み、基準チャンバ（２２）は、測定チャンバの圧力センサー（２８）に連結され、圧力センサーは、測定チャンバ内の圧力と基準チャンバ内の圧力との差圧を測定するように構成されている。
Inventors:
Slater Connor
Farine Gale
Farine Gale
Application Number:
JP2017530433A
Publication Date:
September 14, 2017
Filing Date:
September 01, 2015
Export Citation:
Assignee:
ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL)
International Classes:
G01L13/06; G01N25/18; G01N27/12
Attorney, Agent or Firm:
Konobu Kato
Takafumi Oshima
Takafumi Oshima