Title:
ガス処理システム、ガス処理方法及び制御装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7050371
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】ガス利用者による負担を軽減しつつ、ガス残量の容易な管理を実現すること。【解決手段】本開示の一実施形態に係るガス処理システム1は、入側から流通される混合ガスに含まれる第1のガスを捕集可能な第1の多孔性金属有機構造体を収容する第1の容器5A1と、第1の容器5A1と直列に流通される混合ガスに含まれる第2のガスを捕集可能な第2の多孔性金属有機構造体を収容する第2の容器5B1と、第1の容器5A1の下流側の流路の空間を検出対象として設けられ、第1のガスを検出可能な第1のガス検出器(TCD11)と、第1のガス検出器に基づく検出情報に基づいて、少なくとも第1の容器5A1の状態に関する情報を出力する制御装置100と、を備える。【選択図】図2
Inventors:
Akihiro Hori
Junichi Hatakeoka
Junichi Hatakeoka
Application Number:
JP2021075478A
Publication Date:
April 08, 2022
Filing Date:
April 28, 2021
Export Citation:
Assignee:
SyncMOF Co., Ltd.
International Classes:
B01D53/04; B01J20/26
Domestic Patent References:
JPH04358516A | 1992-12-11 | |||
JPS55165124A | 1980-12-23 | |||
JP2001058118A | 2001-03-06 | |||
JPS6246911A | 1987-02-28 | |||
JPS4750996A | ||||
JPH0985035A | 1997-03-31 | |||
JPS62289222A | 1987-12-16 | |||
JPS5966324A | 1984-04-14 | |||
JP2017154094A | 2017-09-07 | |||
JP2013087017A | 2013-05-13 | |||
JP2002114504A | 2002-04-16 | |||
JP3209628U | 2017-03-30 | |||
JP2013071072A | 2013-04-22 | |||
JP3087971U | 2002-08-23 | |||
JP3027185U | 1996-07-30 |
Foreign References:
US20150290575 | 2015-10-15 |
Attorney, Agent or Firm:
One ip patent business corporation