Title:
ゲートバルブ及び基板処理装置並びに基板処理方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024033169
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】真空処理室及び真空予備室の気密性および清浄度を向上することができるゲートバルブ及び基板処理装置並びに基板処理方法を提供すること。【解決手段】ゲートバルブ３０は、真空処理室１０及び真空予備室２０の互いに対向配置した基板搬出入口２４ａの全周を取り囲む環状のシール部材２５ａ、２５ｂに対して真空処理室１０及び真空予備室２０のそれぞれに対向する側の面を当接して真空処理室１０と真空予備室２０の間を開閉自在に接続し、真空処理室１０又は真空予備室２０の少なくとも一方の基板搬出入口２４ａの全周を内外２重で取り囲むように設けたシール部材２５ａ、２５ｂの間及びゲートバルブ３０内部の１以上の部位に内外２重にして設けた他のシール部材４０ａ、４０ｂの間にシール用流路５１、５４を設け、複数のシール用流路を含んで流入口５０ａから流出口５０ｎまで連続して流れるように不活性ガスを誘導するガス流通用流路５０を備えた。【選択図】図４
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Inventors:
Yoshifumi Hoshino
Kaito Suzuki
Yukio Oizumi
Kaito Suzuki
Yukio Oizumi
Application Number:
JP2022136598A
Publication Date:
March 13, 2024
Filing Date:
August 30, 2022
Export Citation:
Assignee:
株式会社キッツエスシーティー
International Classes:
F16K27/00; C23C16/44; F16K51/02; H01L21/3065
Attorney, Agent or Firm:
Tetsuo Kobayashi
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