Title:
試料の構造要素に関する３次元情報の生成
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023527297
Kind Code:
A
Abstract:
試料の構造要素に関する３次元情報を提供するための方法、非一過性コンピュータ可読媒体および３次元評価システム。この方法は、異なる入射角の電子ビームを構造要素に照射することであり、電子ビームが構造要素を透過し、構造要素がナノメートル規模の寸法を有する、照射すること、構造要素から散乱した前方散乱電子を検出して、検出された前方散乱電子を提供すること、および構造要素に関する３次元情報を、少なくとも検出された前方散乱電子に基づいて生成することを含むことができる。
Inventors:
Circo Constantine
Shani Itomaru
caravecal albert
Eitan Guy
Yaron Riolu
Litman Aron
Shani Itomaru
caravecal albert
Eitan Guy
Yaron Riolu
Litman Aron
Application Number:
JP2022570597A
Publication Date:
June 28, 2023
Filing Date:
May 07, 2021
Export Citation:
Assignee:
Applied Materials Israel Limited
International Classes:
H01J37/29; G01B15/04; H01J37/09; H01J37/244; H01L21/66
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Fumiaki Otsuka
Takayoshi Nishijima
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Takeo Nasu
Nobuhiko Suzuki
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Fumiaki Otsuka
Takayoshi Nishijima
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Takeo Nasu
Nobuhiko Suzuki
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