Title:
勾配ガラス状セラミック構造体及びそのボトムアップ製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023521697
Kind Code:
A
Abstract:
15～500nmの範囲の厚さを有し、有機又は物理的官能構造を有するガラス状セラミック薄膜及びそれらの製造のためのボトムアップ方法が記載される。勾配特性を有するSiO2リッチ構造体は、電気陰性β置換基を有するシルセスキオキサン、及び少なくとも1種の有機官能性シラン又は少なくとも1種の金属アルコキシドから形成される。
Inventors:
Barry Sea Arcles
Kerry Campbell Dimmella
Jonathan Dee Goff
Kerry Campbell Dimmella
Jonathan Dee Goff
Application Number:
JP2022560955A
Publication Date:
May 25, 2023
Filing Date:
April 01, 2021
Export Citation:
Assignee:
Gelest, Inc.
International Classes:
C08G77/06; C08G77/44; C08G79/00; H01L21/316
Attorney, Agent or Firm:
Yasuhiko Murayama
Shinya Mihiro
Tatsuhiko Abe
Shinya Mihiro
Tatsuhiko Abe
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