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Title:
GRINDING DEVICE
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019202359
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】静圧支持構造を利用した簡単な構成で振動を抑制可能な研削装置を提供する。【解決手段】研削装置1は、水平摺動面42hに複数の静圧ポケット42pが配置され、ポンプ50各静圧ポケット42pへ流体を供給して砥石台42を摺動支持する静圧支持構造を有し、砥石43の上下方向の振動量を測定する浮き上がりセンサ35及び砥石軸センサ36と、ポンプ50から各静圧ポケット42pへ供給される流体の流量を可変する電磁可変絞り弁60と、浮き上がりセンサ35及び砥石軸センサ36によって測定される砥石43の上下方向振動量を低減させるように、電磁可変絞り弁60を制御して各静圧ポケット42pへの流体の流量を調整する制御部30と、を備える。【選択図】図2

Inventors:
KANEBAKO TAKANORI
KONDO TAKASHI
KOBAYASHI HISANOBU
Application Number:
JP2018097273A
Publication Date:
November 28, 2019
Filing Date:
May 21, 2018
Export Citation:
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Assignee:
JTEKT CORP
International Classes:
B24B41/04; B24B5/00; B24B49/10
Attorney, Agent or Firm:
Kobayashi
Kiichi Yamamoto
Kimura Gunji