Title:
被処理物の熱処理装置、その制御方法及び処理装置の制御方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4994276
Kind Code:
B2
Inventors:
Hideto Yamaguchi
Application Number:
JP2008067060A
Publication Date:
August 08, 2012
Filing Date:
March 17, 2008
Export Citation:
Assignee:
Hitachi Kokusai Electric Co., Ltd.
International Classes:
F27D19/00; G05B7/02; H01L21/22; H01L21/324
Domestic Patent References:
| JP10189465A | ||||
| JP9134202A | ||||
| JP5225152A | ||||
| JP2008901A | ||||
| JP9148290A |
Other References:
阿部 明,半導体工業炉における温度制御高度化の手法と方向,計装,日本,工業技術社,1995年 7月 1日,第38巻 第7号,第27-34頁
Attorney, Agent or Firm:
Hideo Akazawa
Mitsue Haba
Mitsue Haba