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Title:
HEAT TREATMENT DEVICE
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016084990
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】本発明は、領域毎に断熱能力の調整が可能な熱処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】処理容器4と、該処理容器の周囲に設けられた発熱体48と、該発熱体の周囲に、該発熱体の異なる領域をカバーするように分割して設けられた複数の断熱手段51と、該複数の断熱手段の各々に接続された複数の排気管70と、該複数の排気管に接続された真空排気手段90と、を有する。【選択図】図2

Inventors:
KOBAYASHI MAKOTO
Application Number:
JP2014218383A
Publication Date:
May 19, 2016
Filing Date:
October 27, 2014
Export Citation:
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Assignee:
TOKYO ELECTRON LTD
International Classes:
F27D7/06; F16L59/00; F27B5/14; F27D11/02; H05B3/14
Domestic Patent References:
JPH07106262A1995-04-21
JPH07106262A1995-04-21
JP2007142363A2007-06-07
JP2003197552A2003-07-11
JPS54165344U1979-11-20
JP2008262959A2008-10-30
JPS63144866A1988-06-17
JP2012049380A2012-03-08
Attorney, Agent or Firm:
伊東 忠重
伊東 忠彦



 
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