Title:
熱処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3225205
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】オペレーターに清掃のタイミングを知らせることができる熱処理装置を提供する。【解決手段】熱処理装置１０は、圧力容器１２と、圧力容器の内方に配置された断熱体と、断熱体の内部空間に配置されたヒーター２２と、ヒーターに所定電圧を印加する直流電源６２と、直流電源がヒーターに所定電圧を印加したときに、ヒーターからアースに流れる電流を測定する電流計６４と、電流計で測定された電流と直流電源で出力された所定電圧からヒーターとアースとの間の絶縁抵抗を求め、絶縁抵抗から断熱体の内部空間の清掃を判定する、または測定された電流値から断熱体の内部空間の清掃を判定する制御部２８とを備える。【選択図】図１
Inventors:
Fumika Isobe
Application Number:
JP2019004636U
Publication Date:
February 20, 2020
Filing Date:
December 06, 2019
Export Citation:
Assignee:
Shimadzu Industrial Systems Co., Ltd.
International Classes:
F27D11/02; F27D21/00
Attorney, Agent or Firm:
Takayoshi Kusumoto
Satoshi Mikumo
Tsuneo Fujikawa
Shigeki Nakagawa
Takuro Hiramatsu
Satoshi Mikumo
Tsuneo Fujikawa
Shigeki Nakagawa
Takuro Hiramatsu