Title:
熱処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3225851
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】被処理物から放出された放出物で排気パイプが閉塞されることを防止できる熱処理装置を提供する。【解決手段】熱処理装置１０は、圧力容器１２と、圧力容器１２の内部空間１４に配置された第１断熱体１６と、第１断熱体１６の内部空間１８に配置されたヒータ２０と、第１断熱体１６の内部空間１８に配置され、被処理物２２が収容される収容部２４と、ポンプ３２と、収容部２４の内部空間２８とポンプ３２とをつなぐ排気パイプ３４と、排気パイプ３４の途中に設けられ、被処理物２２から放出された放出物を捕捉するトラップ３８と、収容部２４とトラップ３８の間において、排気パイプ３４の少なくとも一部に配置された第２断熱体とを含む。【選択図】図１
Inventors:
Naoya Takeda
Application Number:
JP2020000300U
Publication Date:
April 09, 2020
Filing Date:
January 31, 2020
Export Citation:
Assignee:
Shimadzu Industrial Systems Co., Ltd.
International Classes:
F27D17/00; C21D1/74; F27B5/06
Attorney, Agent or Firm:
Takayoshi Kusumoto
Satoshi Mikumo
Tsuneo Fujikawa
Shigeki Nakagawa
Takuro Hiramatsu
Satoshi Mikumo
Tsuneo Fujikawa
Shigeki Nakagawa
Takuro Hiramatsu