Title:
発熱体及び真空熱処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018135038
Kind Code:
A1
Abstract:
この発熱体(10)は、真空熱処理装置(S1)に収容された被処理物(W)の周囲に配置され、真空雰囲気下で被処理物を加熱する発熱体であって、複数の電気ヒータ(18)と、当該複数の電気ヒータを相互に接続する導電性コネクタ(c4)とを備え、電気ヒータと導電性コネクタとは、互いに密着して接合されている。
Inventors:
Kazuhiko Katsumata
Application Number:
JP2018562869A
Publication Date:
November 07, 2019
Filing Date:
September 20, 2017
Export Citation:
Assignee:
Ihi Co., Ltd.
Ihi Mechanical Systems Co., Ltd.
Ihi Mechanical Systems Co., Ltd.
International Classes:
H05B3/02; C21D1/773; F27D11/02; F27D19/00; F27D21/00
Domestic Patent References:
JPS5731996Y2 | 1982-07-14 | |||
JPS6146400Y2 | 1986-12-26 | |||
JP2002299273A | 2002-10-11 | |||
JP2007084870A | 2007-04-05 | |||
JPH05271751A | 1993-10-19 | |||
JP2001255073A | 2001-09-21 | |||
JPH06151042A | 1994-05-31 |
Foreign References:
WO1991002438A1 | 1991-02-21 | |||
US4126757A | 1978-11-21 | |||
FR2610095A1 | 1988-07-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Nishizawa Kazumi
Mitsuo Teramoto
Yuichiro Shimizu
Hisanori Takahashi
Mitsuo Teramoto
Yuichiro Shimizu
Hisanori Takahashi