Title:
高輝度でホウ素を含有する真空環境用電子ビームエミッタ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019525401
Kind Code:
A
Abstract:
金属ホウ化物素材を含有するエミッタであり、少なくとも部分的に丸みのある半径１μｍ以下の端部を有する。電界をこのエミッタに印加しそのエミッタから電子ビームを発生させることができる。このエミッタを形成すべく単結晶ロッドから素材を除去することで、半径１μｍ以下の丸端部を有する金属ホウ化物素材含有エミッタを形成することができる。
Inventors:
Schultz William G
Delgado Guildard
Hill francis
Garcia Edgard
Garcia Rudy
Delgado Guildard
Hill francis
Garcia Edgard
Garcia Rudy
Application Number:
JP2019500273A
Publication Date:
September 05, 2019
Filing Date:
June 20, 2017
Export Citation:
Assignee:
KLA Corporation
International Classes:
H01J1/304; H01J9/02; H01J19/068; H01J37/06; H01J37/073
Domestic Patent References:
| JP2015518245A | 2015-06-25 | |||
| JP2014026921A | 2014-02-06 | |||
| JPH03274642A | 1991-12-05 | |||
| JPS5229053U | 1977-03-01 | |||
| JP2012044191A | 2012-03-01 | |||
| JP2008039766A | 2008-02-21 |
Foreign References:
| WO2014007121A1 | 2014-01-09 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Corporation yki International Patent Office
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