Title:
高出力低周波数コイル
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022546488
Kind Code:
A
Abstract:
コイルは、コイル本体と、コイル本体の周囲に配置された複数の同心状断面ワイヤ巻線であって、ワイヤは隣接する巻線間でワイヤの半径の約０．２５～１．０の間隔を有する、複数の同心状断面ワイヤ巻線と、を有する。また、プラズマ処理装置用のコイルであって、コイルは、コイル本体と、コイル本体の周囲に配置された複数の同心円柱状断面ワイヤ巻線であって、ワイヤは隣接する巻線間でワイヤの半径の約０．２５～１．０の間隔と、約２：１～３：１の直径対長さの比を有する、複数の同心円柱状断面ワイヤ巻線と、を備える。
Inventors:
Kirkwood Row
Aaron Cattino
Aaron Cattino
Application Number:
JP2022513551A
Publication Date:
November 04, 2022
Filing Date:
August 28, 2020
Export Citation:
Assignee:
Comet Technologies USA Inc.
International Classes:
H01F5/00; H01F41/04; H05H1/46
Attorney, Agent or Firm:
Aoki Atsushi
Shinji Mihashi
Junichi Tsuruta
Tomohiro Nanzan
Yuichi Morimoto
Shinji Mihashi
Junichi Tsuruta
Tomohiro Nanzan
Yuichi Morimoto