Login| Sign Up| Help| Contact|

Patent Searching and Data


Title:
高純度１Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテン
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2014129488
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、純度９９．９重量％以上で、且つ、有機塩素系化合物の含有量が３５０重量ｐｐｍ以下であることを特徴とする１Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテンである。本発明によれば、半導体向けのプラズマ反応用ガスとして好適な高純度の１Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテンが提供される。

Inventors:
Tatsuya Sugimoto
Application Number:
JP2015501473A
Publication Date:
February 02, 2017
Filing Date:
February 19, 2014
Export Citation:
Click for automatic bibliography generation   Help
Assignee:
Zeon Corporation
International Classes:
C07C23/08; C07C17/23; C07C17/383; H01L21/3065
Domestic Patent References:
JP2011105625A2011-06-02
JP2009206444A2009-09-10
JP2012049376A2012-03-08
JP2002255868A2002-09-11
JPH08119604A1996-05-14
JP2008115191A2008-05-22
JP2007176770A2007-07-12
JP2005239596A2005-09-08
Foreign References:
WO2013161387A12013-10-31
WO2012105109A12012-08-09
WO2010007968A12010-01-21
WO2009041560A12009-04-02
Attorney, Agent or Firm:
Haruhito Oishi



 
Previous Patent: 非水電解質二次電池負極用炭素質材料

Next Patent: POLYCARBONATE RESIN COMPOSITION AND MOLDED PRODUCT THEREOF