Title:
Ｘ線を検出するための高分解能ライトバルブ検出器
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022506509
Kind Code:
A
Abstract:
Ｘ線顕微鏡システムのための検出システムは、高バンドギャップの直接変換Ｘ線検出材料を利用する。Ｘ線投影の信号は、液晶（ＬＣ）ライトバルブなどの空間光変調器に記録される。次いで、ライトバルブが偏光光学顕微鏡によって読み出される。この構成により、現行のシンチレータ－光学顕微鏡－カメラ検出システムよりも光学系における光損失が軽減される。
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Inventors:
Shu, Xiao Chao
Graf Fom Hagen, Christoph
Graf Fom Hagen, Christoph
Application Number:
JP2021523909A
Publication Date:
January 17, 2022
Filing Date:
November 05, 2019
Export Citation:
Assignee:
CARL ZEISS X-RAY MICROSCOPY, INC.
International Classes:
G01T1/00; G01N23/046; G21K7/00; H01J29/38; H01J37/252; H01J40/16
Attorney, Agent or Firm:
Fukami patent office
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