Title:
バンクパターンの形成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024038456
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】バンクパターンの形成方法を提供する。【解決手段】基板上に直接または他の層を介して、下記(A)成分、(C)成分及び(D)成分を含有し、(E)成分を含有しない第一の感光性樹脂組成物を塗布して、下層膜を設ける下層膜形成工程と、該下層膜上に、下記(a)成分、(b)成分、(c)成分及び(d)成分を含有する第二の感光性樹脂組成物を塗布して、レジスト膜を設けるレジスト膜形成工程と、該レジスト膜を露光しそして現像することにより、バンクを形成し、その現像過程において非バンク部の下層膜が非バンク部のレジスト膜と共に除去されるバンク形成工程とを含むバンクパターンの形成方法。(A)成分：アミド基を有するアルカリ可溶性樹脂、(C)成分：溶剤、(D)成分：感光剤、(E)成分：架橋剤、(a)成分：アルカリ可溶性樹脂、(b)成分：撥液性基(b1)を有する重合体、(c)成分：溶剤、(d)成分：感光剤【選択図】図１
Inventors:
Shoshiro Yukawa
Hiroyuki Ohmura
Kayo Inami
Hiroyuki Ohmura
Kayo Inami
Application Number:
JP2024007512A
Publication Date:
March 19, 2024
Filing Date:
January 22, 2024
Export Citation:
Assignee:
Nissan Chemical Co., Ltd.
International Classes:
G03F7/095; G03F7/004; G03F7/023; G03F7/075; H10K50/84; H10K59/122; H10K71/16; H10K85/10
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Hanabusa Patent and Trademark Office