Title:
電子銃、電子線適用装置およびマルチ電子ビームの形成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7080533
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】マルチレンズアレイが具備するレンズの数より多くの電子ビームを形成できる電子銃、電子線適用装置およびマルチ電子ビームの形成方法を提供する。【解決手段】放出可能な電子を生成する電子発生源２と、電子発生源との間で電界を形成することができ、形成した電界により前記放出可能な電子を引き出し、電子ビームを形成するアノード３と、マルチレンズアレイ４と、を含む、電子銃であって、マルチレンズアレイに照射される電子ビームを第１電子ビームＢ１と規定した時に、前記第１電子ビームはｍ個（ｍは２以上の任意の整数）形成され、マルチレンズアレイはｎ個（ｎは２以上の任意の整数）のレンズを具備し、マルチレンズアレイから射出する電子ビームを第２電子ビームＢ２と規定した時に、第２電子ビームを最大ｍ×ｎ個形成できる電子銃１。【選択図】図１
Inventors:
Hokuto Iijima
Application Number:
JP2021182797A
Publication Date:
June 06, 2022
Filing Date:
November 09, 2021
Export Citation:
Assignee:
Photo electron Soul Inc.
International Classes:
H01J37/073; H01J1/34
Domestic Patent References:
| JP2017108146A | 2017-06-15 | |||
| JP2016522572A | 2016-07-28 | |||
| JP2013544031A | 2013-12-09 |
Foreign References:
| US20200126751 | 2020-04-23 |
Attorney, Agent or Firm:
Seiji Matsumoto
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