Title:
投影露光系の物体視野を照明する方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017509017
Kind Code:
A
Abstract:
投影露光装置（１）の物体視野（５）を照明する方法において、第１のファセット（６８）の部分集合は、パーク位置に位置決めされるように提供され、パーク位置の各々は、関連のターゲット位置から離間されるが、最大でも最大距離ｄmaxしか離間されない。【選択図】図１７
Inventors:
Endless Martin
Eisenmenger Johannes
Bilin stetig
Hauf marx
Vishmeier Lars
Hacker fabian
Eisenmenger Johannes
Bilin stetig
Hauf marx
Vishmeier Lars
Hacker fabian
Application Number:
JP2016553537A
Publication Date:
March 30, 2017
Filing Date:
February 17, 2015
Export Citation:
Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
G02B19/00; G03F7/20; H05G2/00
Domestic Patent References:
| JP2005518659A | 2005-06-23 | |||
| JP2012505533A | 2012-03-01 |
Foreign References:
| DE102010029765A1 | 2011-12-08 | |||
| WO2013164207A1 | 2013-11-07 | |||
| DE102012207572A1 | 2013-05-08 |
Attorney, Agent or Firm:
Takaki Nishijima
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Fumiaki Otsuka
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Hiroshi Oura
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Fumiaki Otsuka
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Hiroshi Oura