Title:
How to manufacture an object holder and an object holder for use in a lithography device
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016519332
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】例えば、静電クランプ性能の改善、基板温度制御の改善、歩留まりの改善、またはこれらの任意の組み合わせを促進する基板ホルダを提供する。【解決手段】リソグラフィ装置における使用のための物体ホルダを製造する方法であって、物体ホルダは、１つ以上の電気的に機能する構成要素を備え、方法は、物体ホルダの本体と異なるキャリアシートと、１つ又は複数の層を備えキャリアシート上に形成された層状構造と、を備える複合構造を使用することと、層状構造がキャリアシートと本体の表面との間にあるように本体の表面に複合構造を接続することと、本体に接続された層状構造を残して複合構造からキャリアシートを取り除くことと、を備える方法。【選択図】図１５
Inventors:
Rafale, Raymond
Achanta, Satish
Philippi, Matteo
Carade, yogesh
Nerissen, Antonius
Van der wirck, ronald
Van der Maren, Hendricks, Christopher, Maria
Werthers, Wilhelms
Achanta, Satish
Philippi, Matteo
Carade, yogesh
Nerissen, Antonius
Van der wirck, ronald
Van der Maren, Hendricks, Christopher, Maria
Werthers, Wilhelms
Application Number:
JP2016504536A
Publication Date:
June 30, 2016
Filing Date:
February 26, 2014
Export Citation:
Assignee:
AS M Netherlands B.V.
International Classes:
G03F7/20; H01L21/683
Domestic Patent References:
| JP2002083862A | 2002-03-22 | |||
| JP2013509708A | 2013-03-14 | |||
| JPH11297805A | 1999-10-29 | |||
| JP2003045949A | 2003-02-14 | |||
| JP2012235095A | 2012-11-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Sakaki Morishita
Takeshi Aoki
Takeshi Aoki