Title:
マイクロリソグラフィ装置を作動させる方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015534123
Kind Code:
A
Abstract:
マイクロリソグラフィ装置を作動させる方法は、アレイ上の光放射照度分布が第１の線（７６）に沿って少なくとも５０％だけ変化する傾斜可能ミラー（Ｍ）のアレイ（３４）を含む照明系（２０）を与える段階と、走査方向（Ｙ）と平行に延びて第１の線（７６）の像である第２の線（７６’）に沿って、照明視野（２６）を通して移動する点に対して走査積分ターゲット角度光分布及びターゲット光エネルギを指定する段階と、第１の線（７６）が通って延びるミラー（Ｍ）の群（８０）を決定する段階と、その点に対する実角度光分布及び実光エネルギがそれぞれのターゲット値を近似するような群（８０）のミラー（Ｍ）の傾斜角を決定する段階と、アレイ（３４）の像をマスク（１４）上に形成することによって照明視野（２６）を生成する段階と、マスク（１４）が走査方向（Ｙ）に沿って移動する間にマスク（１４）の一部分を面（１６）上に結像する段階とを含む。【選択図】図３
Inventors:
Patra Michael
Application Number:
JP2015535993A
Publication Date:
November 26, 2015
Filing Date:
October 08, 2012
Export Citation:
Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
G03F7/20; G02B19/00; G02B26/08
Domestic Patent References:
| JPH096011A | 1997-01-10 | |||
| JP2010153875A | 2010-07-08 | |||
| JP2012054425A | 2012-03-15 |
Foreign References:
| WO2009026947A1 | 2009-03-05 |
Attorney, Agent or Firm:
Koichi Tsujii
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Yoshinori Kishi
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Yoshinori Kishi