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Patent Searching and Data


Title:
How to provide the template for Distribution with a pattern for the polymer in which self-organization is possible
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6138137
Kind Code:
B2
Inventors:
ニューエン,タン
フィンデルス,ヨゼフ
ケテラース,ウィルヘルムス
ウイスター,サンダー
ヴァン デル ヘイデン,エディー
メッセン,ヒエロニーモス
コール,ロエロフ
ピータース,エミール
ヴァン ヘース,クリス
ブリツァード,アウレリー
ボーツ,ヘンリ
ドルツィニナ,タマラ
デ ルイター,ジェシカ
Application Number:
JP2014532437A
Publication Date:
May 31, 2017
Filing Date:
October 02, 2012
Export Citation:
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Assignee:
エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.
International Classes:
H01L21/027; B82Y30/00; B82Y40/00
Domestic Patent References:
JP2008090956A
JP2010522643A
JP2002334414A
JP2007208255A
Attorney, Agent or Firm:
稲葉 良幸
大貫 敏史