Title:
フラットパネルツールにおいて基板を迅速にローディングするための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022501801
Kind Code:
A
Abstract:
本開示は概して、基板をローディングし、処理し、アンローディングするための方法及び装置に関する。処理システムは、フォトリソグラフィシステムに連結されたローディング／アンローディングシステムを備える。このローディング／アンローディングシステムは、第１の高さ及び第１の幅を有する第１の軌道のセットと、第１の高さ及び第１の幅とは異なる第２の高さ及び第２の幅を有する、第２の軌道のセットとを備える。未処理基板が、第１トレイ上で、第１の軌道のセットに沿ってリフトピンローダからチャックへと移送される一方、処理済み基板は、第２トレイ上で、第２の軌道のセットに沿って、チャックからリフトピンローダへと移送される。第１トレイと基板がまだ処理中でチャック上にある間に、ローディング／アンローディングシステムは、第２トレイ上の処理済み基板をアンローディングし、未処理基板を第２トレイ上にローディングするよう構成される。【選択図】図３Ａ
Inventors:
Johnston, Benjamin M.
Phone, Preston
Screws, Sean
Lee, Chuk Min
You, Jaemyung
Phone, Preston
Screws, Sean
Lee, Chuk Min
You, Jaemyung
Application Number:
JP2021504239A
Publication Date:
January 06, 2022
Filing Date:
June 13, 2019
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
H01L21/677; B65G49/06; G03F7/20
Domestic Patent References:
| JP2004273702A | 2004-09-30 | |||
| JP2016027588A | 2016-02-18 | |||
| JP2012237913A | 2012-12-06 | |||
| JP2014007410A | 2014-01-16 | |||
| JP2008191302A | 2008-08-21 | |||
| JP2004101951A | 2004-04-02 | |||
| JP2005037914A | 2005-02-10 | |||
| JP2012182273A | 2012-09-20 | |||
| JP2011233776A | 2011-11-17 |
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda/Kobayashi Patent Business Corporation