Title:
温超純水製造システムの立ち上げ方法、立ち上げプログラム、及び温超純水製造システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7033691
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】温超純水配管の劣化を抑制しつつ、温超純水製造システムの立ち上げ時間を短くする。【解決手段】超純水をユースポイント２４への供給水温に昇温し温超純水を製造する温超純水製造システム１２の立ち上げ方法であって、常温以上で且つ供給水温以下の水温範囲内で、超純水を常温よりも高温に昇温した昇温水と、昇温水よりも低温に降温した降温水と、を温超純水が流れる温超純水配管に交互に通水する。【選択図】図２
Inventors:
Masamitsu Iiyama
Application Number:
JP2021177165A
Publication Date:
March 10, 2022
Filing Date:
October 29, 2021
Export Citation:
Assignee:
Nomura Micro Science Co., Ltd.
International Classes:
C02F1/02; B01D61/14; C02F1/42; C02F1/44
Domestic Patent References:
| JP2010123897A | 2010-06-03 | |||
| JP2018043228A | 2018-03-22 | |||
| JP2017200683A | 2017-11-09 | |||
| JP2014217830A | 2014-11-20 | |||
| JP2019152411A | 2019-09-12 | |||
| JP2021120988A | 2021-08-19 | |||
| JP2013202610A | 2013-10-07 |
Foreign References:
| WO2020105494A1 | 2020-05-28 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Service Corporation Taiyo International Patent Office
Previous Patent: Drain fixture
Next Patent: Ultrasound systems and methods for smart shear wave elastography
Next Patent: Ultrasound systems and methods for smart shear wave elastography