Title:
膜を使用してキャビティを封止する方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022545678
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、膜を使用してキャビティ（１１）を封止するための方法であって、この方法が、（ａ）マトリックスに配列され、間隔ｂだけ離間されている、深さｐ、特徴寸法ａのキャビティ（１１）を形成する段階と、（ｂ）封止フィルムを移すことにより、膜を形成し、キャビティ（１１）を封止する段階と、を含み、この方法が、ステップ（ｂ）の前に実行され、前面（１０ａ）及び／又は封止面（１６ａ）に第１の輪郭を形成するステップ（ａ１）を含み、第１の輪郭が、幅Ｌ及び深さｐ１を有する第１のトレンチ（２１）を含み、ステップ（ｂ）の後に、キャビティ（１１）が第１の輪郭によって外接するように第１の輪郭の形成が実行され、前記第１の輪郭が、ｂの５分の１と５ｂとの間の、キャビティから距離Ｇにある、方法に関する。
Inventors:
Thierry Salvta
Bruno Gislen
Lamine Venessa
Caroline Coutier
Gurta Gordan
Bruno Gislen
Lamine Venessa
Caroline Coutier
Gurta Gordan
Application Number:
JP2022511317A
Publication Date:
October 28, 2022
Filing Date:
August 18, 2020
Export Citation:
Assignee:
Comissaria Allenergy Atmic Eo Zenerji Zartana Tave
Soitec
Soitec
International Classes:
B81C3/00; B81B7/04
Attorney, Agent or Firm:
Murayama Yasuhiko
Shinya Mihiro
Tatsuhiko Abe
Shinya Mihiro
Tatsuhiko Abe
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