Title:
ハイブリッド無線周波数コンポーネント
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015515763
Kind Code:
A
Abstract:
静電作動及び圧電作動を含むハイブリッドＲＦ ＭＥＭＳコンポーネント設計を提供し得る方法及びシステム。一例では、その方法は、片持ち梁と作動電極との間の第１ギャップを小さくすべく第１圧電力を発生させるために第１電圧を印加すること、及び、その片持ち梁と伝送電極との間の接触を創出すべく静電気力を発生させるために第２電圧を印加することを含み得る。
Inventors:
Sue, Hao-han
Mahade, Rashed
Abdelmoneum, Mohammed A.
Han, Don-ho
Mahade, Rashed
Abdelmoneum, Mohammed A.
Han, Don-ho
Application Number:
JP2014554997A
Publication Date:
May 28, 2015
Filing Date:
June 26, 2013
Export Citation:
Assignee:
Intel Corporation
International Classes:
H01P1/10; B81B3/00; B81B7/02; B81C1/00; H01H49/00; H01H57/00; H01H59/00; H01L41/09
Domestic Patent References:
| JP2005302711A | 2005-10-27 | |||
| JP2008238330A | 2008-10-09 | |||
| JP2007535863A | 2007-12-06 | |||
| JP2011176038A | 2011-09-08 | |||
| JP2005302711A | 2005-10-27 |
Foreign References:
| WO2004061882A1 | 2004-07-22 |
Attorney, Agent or Firm:
Tadashige Ito
Tadahiko Ito
Shinsuke Onuki
Tadahiko Ito
Shinsuke Onuki