【発明の名称】電子ビ―ム描画装置およびそれにより描画されたパタ―ンを有する半導体デバイス

Title:

【発明の名称】電子ビ―ム描画装置およびそれにより描画されたパタ―ンを有する半導体デバイス

Document Type and Number:

Japanese Patent JP2993504

Kind Code:

B1

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JP2011040460

Inventors:

OKUMURA MASAHIDE
NAGATA KOJI
ANDO HIROZUMI
MORIMURA TOSHUKI

Application Number:

JP390499A

Publication Date:

December 20, 1999

Filing Date:

January 11, 1999

Export Citation:

Assignee:

HITACHI SEISAKUSHO KK

International Classes:

H01L21/027; G03F7/20; (IPC1-7): H01L21/027; G03F7/20

Attorney, Agent or Firm:

Masatoshi Isomura (1 outside)

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