Title:
撮像装置および測定装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024025303
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】高速処理と高精度測定を両立できる撮像装置を提供する。【解決手段】撮像装置１０１は、撮像素子２０と、物体における第１の方向に延びる領域からの光を第１の方向に直交する断面において複数の光に分光し、該複数の光を撮像素子の撮像面に集光する光学系１０とを有する。複数の光のうち第１の光、第２の光および第３の光の波長をそれぞれλ１、λ２、λ３、上記断面における撮像面での第１、第２および第３の光の集光位置をそれぞれｚ１、ｚ２、ｚ３とする、λ１＜λ２＜λ３、α２１＝（ｚ２－ｚ１）／（１／λ２－１／λ１）およびα３２＝（ｚ３－ｚ２）／（１／λ３－１／λ２）とするとき、０.９０≦α２１／α３２≦１.１なる条件を満足する。【選択図】図２
Inventors:
Saijo Aono
Application Number:
JP2022128654A
Publication Date:
February 26, 2024
Filing Date:
August 12, 2022
Export Citation:
Assignee:
Canon Inc
International Classes:
G02B17/00; G02B5/18; G03B15/00; G03B17/17
Attorney, Agent or Firm:
Ryosuke Fujimoto
Atsuya Mizumoto
Tomoya Hirayama
Atsuya Mizumoto
Tomoya Hirayama