Title:
ペロブスカイト太陽電池用のその場フラッシュ蒸着成膜装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023544933
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、プラットフォームと、前記プラットフォームに設けられ、膜層を成形するための基板と、プラットフォームに上下移動可能に設けられるチャンバーカバーであって、チャンバーカバーは基板をチャンバーカバーとプラットフォームとによって囲まれた密閉チャンバー内に係合することが可能であり、チャンバーカバーに密閉チャンバーと真空ポンプとを連通させることが可能な真空管が設けられるチャンバーカバーと、を備えるペロブスカイト太陽電池用のその場フラッシュ蒸着成膜装置を開示する。膜層を成形した後、直接チャンバーカバーを降下させるだけで、成形された膜層に対してその場フラッシュ蒸着を行うことができ、成膜装置からフラッシュ蒸着装置への膜層の移行時間を省き、それによって自然状態での溶媒の揮発を回避し、さらに最終製品の品質を確保する。真空ポンプの始動に時間がかかることを回避し、それによってさらに膜層の自然状態での溶媒の揮発を回避するために、本発明では真空管４に電磁弁が設けられ、且つ真空ポンプが常時オン状態である。一旦基板上の膜層が成形されると、電磁弁をオンにするだけで直ちに密閉チャンバーを真空引きすることができる。
Inventors:
李新▲連▼
李▲ウェイ▼▲東▼
▲趙▼志国
秦校▲軍▼
▲趙▼▲東▼明
▲張▼▲ユン▼
Summer
熊▲継▼光
李▲ウェイ▼▲東▼
▲趙▼志国
秦校▲軍▼
▲趙▼▲東▼明
▲張▼▲ユン▼
Summer
熊▲継▼光
Application Number:
JP2022568737A
Publication Date:
October 26, 2023
Filing Date:
December 10, 2021
Export Citation:
Assignee:
HUANENG CLEAN ENERGY RESEARCH INSTITUTE
International Classes:
H10K30/50; F26B5/04
Attorney, Agent or Firm:
Fumihiko Matsumoto
Yoshihiro Izumi
Yoshihiro Izumi