Title:
個体認証用構造体及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024050622
Kind Code:
A
Abstract:
【解決手段】合成石英ガラス基板の表面部の少なくとも一部に合成石英ガラスで形成された複数のナノピラーを含むピラーパターン領域が形成され、ピラーパターン領域において、ナノインデンテーション法により測定されるナノピラーの押込み弾性率が３５～１００ＧＰａで、ナノピラーが、塑性変形する個体認証用構造体。【効果】ナノピラーの変形の種類や程度で、グレースケールを構成することができ、また、変形後のピラーパターンの態様は、実質的に無限大であるので、本発明の個体認証用構造体を用いることにより、優れた個別性及び耐クローン性で、人工物による個体認証が可能である。また、本発明の個体認証用構造体では、合成石英ガラスは、通常、金属不純物濃度が１ｐｐｍ以下と、極めて純度が高いことから、太陽光、紫外線、温度変化等の外部環境による変形、変色、劣化等の変質がほとんどなく、優れた耐候性や長期安定性及び高い長期信頼性が得られる。【選択図】図３
Inventors:
Masao Ando
Hiroyuki Yamazaki
Masaki Takeuchi
Masaru Nakagawa
Shunya Ito
Hiroyuki Yamazaki
Masaki Takeuchi
Masaru Nakagawa
Shunya Ito
Application Number:
JP2024003885A
Publication Date:
April 10, 2024
Filing Date:
January 15, 2024
Export Citation:
Assignee:
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Tohoku University
Tohoku University
International Classes:
B42D25/36; C03C15/00; G03F7/20; G06K19/06; G06K19/08; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Eimei International Patent Office