Title:
赤外線検出素子、及び赤外線検出装置、圧電体素子
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2015072095
Kind Code:
A1
Abstract:
赤外線検出素子は、下部電極層と、下部電極層上に設けられた検出層と、検出層上に設けられた上部電極層とを有する検出積層体を備える。検出層は、柱状の結晶構造を有する。検出層には、結晶構造の結晶粒界に偏在する複数の気孔が設けられている。この赤外線検出素子は高い赤外線検出性能を有する。
Inventors:
Kubo Kei
Toshinari Noda
Toshinari Noda
Application Number:
JP2015547625A
Publication Date:
March 16, 2017
Filing Date:
October 28, 2014
Export Citation:
Assignee:
Panasonic IP Management Co., Ltd.
International Classes:
G01J1/02; H01L37/02; H01L41/09; H01L41/113; H01L41/43
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Kamada
Hiroo Maeda
Hiroo Maeda