Title:
赤外線検出装置およびその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2005078400
Kind Code:
A1
Abstract:
赤外線検出器を製造するに際して、先ず、シリコン基板上に形成された絶縁層上に、電極を形成する。この電極は、前記赤外線検出器を構成する感熱抵抗素子の形状に合わせた形状とされている。この半導体基板を反応槽内に置き、所定の電位とされ、且つ、加熱する。次に、前記感熱抵抗素子を構成する感熱抵抗体の材料をガス化して原料ガスとなし、当該原料ガスをイオンクラスター化して前記反応槽内に供給する。すると、前記電極を所定の電位とすることによって発生する電界の作用により前記原料ガスが前記電極に捕集される。電極に接した原料ガスが電子を受け取って安定化し、熱分解されることによって、電極上に感熱抵抗体が成長する。
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Inventors:
Yasuhiro Shimada
Daisuke Ueda
Daisuke Ueda
Application Number:
JP2005517872A
Publication Date:
August 30, 2007
Filing Date:
February 17, 2004
Export Citation:
Assignee:
Matsushita Electric Industrial Co., Ltd
International Classes:
G01J1/02; H01C7/04; H01L27/146; H01L35/34; H01L37/00
Attorney, Agent or Firm:
Shiro Nakajima
Shuji Matsumura
Kobayashi Kunito
Shuji Matsumura
Kobayashi Kunito