Title:
赤外線検出装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2014080577
Kind Code:
A1
Abstract:
赤外線検出装置は、基板と、熱型光検出素子とを備える。基板は、凹部と、凹部の周囲に位置する枠部とを有する。熱型光検出素子は、脚部と検出部とを有し、凹部上に検出部が位置するように、脚部が枠部上に接続されている。また、熱型光検出素子は、基板上に設けられた第１電極層と、第１電極層上に設けられた検出層と、検出層上に設けられた第２電極層とを有する。第１電極層の線熱膨張係数は、基板の線熱膨張係数より大きく、基板の線熱膨張係数は、検出層の線熱膨張係数より大きい。
Inventors:
Toshinari Noda
Kubo Kei
Takaanpei
Kubo Kei
Takaanpei
Application Number:
JP2014548437A
Publication Date:
January 05, 2017
Filing Date:
November 01, 2013
Export Citation:
Assignee:
Panasonic IP Management Co., Ltd.
International Classes:
G01J1/02; H01L35/22; H01L37/02
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Kamada
Hiroo Maeda
Hiroo Maeda