Title:
赤外線センサおよび赤外線センサの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2010073288
Kind Code:
A1
Abstract:
検出感度を向上させることができる共に、簡単且つ歩留り良く製造することができる赤外線センサおよび赤外線センサの製造方法を提供する。四周枠状に形成された枠状基板部２と、枠状基板部２の内側に形成され、赤外線の入射方向に延在する突出基材部３と、突出基材部３の少なくとも上部側面に設けられた赤外線検出部５と、を備え、突出基材部３は、リブ状の複数の縦基材部４ａとリブ状の複数の横基材部４ｂとから成る複数の要素基材部４を格子状に組んで構成されている。
Inventors:
Kenjiro Fujimoto
Takanori Maeda
Takahiro Kono
Takanori Maeda
Takahiro Kono
Application Number:
JP2010543636A
Publication Date:
May 31, 2012
Filing Date:
December 22, 2008
Export Citation:
Assignee:
Pioneer Corporation
International Classes:
G01J1/02; H01L27/144; H01L37/02
Domestic Patent References:
| JPH07190854A | 1995-07-28 | |||
| JPH05187917A | 1993-07-27 | |||
| JPH01100426A | 1989-04-18 | |||
| JPH0829262A | 1996-02-02 | |||
| JPS6138427A | 1986-02-24 | |||
| JP2001356046A | 2001-12-26 | |||
| JP2003004527A | 2003-01-08 | |||
| JP2004340719A | 2004-12-02 | |||
| JPH0540480U | 1993-06-01 | |||
| JPH0554227U | 1993-07-20 | |||
| JPS6296536U | 1987-06-19 |
Attorney, Agent or Firm:
Minoru Ochiai
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