Title:
赤外線センサ、赤外線検知装置、及び電子機器
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011101938
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、簡易な構成で、温度検知とガス検知等の異なる複数種類の検知が可能であり、小型化及び低コスト化が可能な赤外線センサを提供する。赤外線センサ（１）は、同一基材（１０）上に、入射する赤外線の物性に応じて物理特性が変化する赤外線検知材（２２）を備えた少なくとも１つの赤外線検知素子（２０）を含み、周囲の赤外線を受光し検知する第１の赤外線検知部（３１）と、第１の赤外線検知部（３１）の赤外線検知素子と同一の素子構造を有する少なくとも１つの赤外線検知素子（２０）を含み、特定の物理特性を有する測定用の赤外線Ｘが照射され、測定用の赤外線Ｘの物理特性の変化を検知する第２の赤外線検知部（３２）とを備えたものである。
Inventors:
Junichiro Mataga
Mizuki Iwanami
Hiroshi Sakai
Naotaka Takahashi
Yasuhiro Sasaki
Mizuki Iwanami
Hiroshi Sakai
Naotaka Takahashi
Yasuhiro Sasaki
Application Number:
JP2012500404A
Publication Date:
June 17, 2013
Filing Date:
November 19, 2010
Export Citation:
Assignee:
NEC
International Classes:
G01J1/02; G01J5/34; G01N21/35; H01L37/02
Domestic Patent References:
| JPH03134798A | 1991-06-07 | |||
| JPH04158583A | 1992-06-01 | |||
| JPS4896098A | 1973-12-08 |
Foreign References:
| WO2007108441A1 | 2007-09-27 |
Attorney, Agent or Firm:
Ken Ieiri
Previous Patent: POLISHING METHOD FOR PARTICLE, AND POLISHING SYSTEM FOR PARTICLE
Next Patent: GRINDING DEVICE
Next Patent: GRINDING DEVICE