Title:
電気被検体の電気検査のための検査装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016528487
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、電気被検体(2)の電気的接触コンタクトのための少なくとも一つの検査コンタクト部(5)を支持している検査ヘッド(4)を備えた、電気被検体(2)、とりわけウエハを電気検査するための検査装置(1)に関する。これに関し、ガス、とりわけ保護ガスをコンタクト領域(14)に吐出するための少なくとも一つの排気口(13)が、検査ヘッド(4)の壁(15)に設けられている。【選択図】 図１
Inventors:
Gauss, Ulrich
Neubauer, Joachim
Troits, stephan
Harp, Jurgen
Neubauer, Joachim
Troits, stephan
Harp, Jurgen
Application Number:
JP2016522343A
Publication Date:
September 15, 2016
Filing Date:
April 15, 2014
Export Citation:
Assignee:
Fine Metal Game Beher
International Classes:
G01R1/073; H01L21/66
Domestic Patent References:
| JP2002040051A | 2002-02-06 | |||
| JPH11218548A | 1999-08-10 | |||
| JP2001281267A | 2001-10-10 | |||
| JP2002236140A | 2002-08-23 |
Foreign References:
| US6342788B1 | 2002-01-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Yusuke Hiraki
Sekiya Mitsuo
Toshiaki Watanabe
Hidekazu Matsumaru
Kenichi Imamura
Sekiya Mitsuo
Toshiaki Watanabe
Hidekazu Matsumaru
Kenichi Imamura