Title:
干渉計及び位相シフト量測定装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5725681
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】EUV領域で良好に動作する干渉計及び位相シフト量測定装置を実現する。【解決手段】本発明の干渉計は、照明ビームを発生する照明源（１）と、光源から出射した照明ビームを試料に向けて投射する照明系と、試料から出射した反射ビームを検出器（７）上に結像する結像系とを具える。照明系は、照明ビームから、試料上の所定の距離だけ離間した２つのエリアを互いにコヒーレントに照明する第１及び第２の回折光を発生する第１の回折格子（２）を含み、結像系は試料で反射した第１及び第２の回折光をさらに回折して、所定の距離だけ互いに離れた第３及び第４の回折光を形成する第２の回折格子（６）を含む。検出器上には、第３及び第４の回折光による干渉画像が形成される。試料を支持するステージの傾斜角度を走査することによりフリンジスキャンが行われる。【選択図】図５
Inventors:
Haruhiko Kususe
Takehisa research
Takehisa research
Application Number:
JP2014009565A
Publication Date:
May 27, 2015
Filing Date:
January 22, 2014
Export Citation:
Assignee:
Lasertec Co., Ltd.
International Classes:
G01J9/02; G01M11/00; G01N21/956; G03F1/84
Domestic Patent References:
| JPS63148106A | 1988-06-21 | |||
| JPS63298107A | 1988-12-05 | |||
| JP2005083974A | 2005-03-31 | |||
| JP2005049317A | 2005-02-24 | |||
| JP2003222572A | 2003-08-08 | |||
| JPH04315009A | 1992-11-06 | |||
| JPS63148106A | 1988-06-21 |
Foreign References:
| WO1999056159A1 | 1999-11-04 |
Attorney, Agent or Firm:
Kenjiro Oyama
Kiyoshi Ogawa
Kiyoshi Ogawa