Title:
Ionization vacuum measurement cell
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016513787
Kind Code:
A
Abstract:
電離真空測定セルは、陽極（３A）と陰極（４K）とを測定チャンバ（１０７）内に含む。測定チャンバ（１０７）は、外側に向かって陰極（４K）の接続ロッド（１０４）のための真空気密フィードスルー（１０３）を有するハウジング（１０１）内に配置される。測定チャンバ（１０７）は、ロッド（１０４）を、絶縁性のみであるフィードスルー（１０９）において保持する。ハウジング（１０１）における測定チャンバ（１０７）は、解放可能なプラグ接続（１０６）によって交換され得る。
Inventors:
Andreaus, Bernhard
Enderes, Rolf
Bust, Martin
Untermarsonnell, Oscar
Stocker, rudolf
Enderes, Rolf
Bust, Martin
Untermarsonnell, Oscar
Stocker, rudolf
Application Number:
JP2015560565A
Publication Date:
May 16, 2016
Filing Date:
July 09, 2013
Export Citation:
Assignee:
Inficon GmbH
International Classes:
G01L21/34
Domestic Patent References:
| JPS4886884U | 1973-10-20 | |||
| JPH0626967A | 1994-02-04 | |||
| JPH05264389A | 1993-10-12 |
Attorney, Agent or Firm:
Fukami patent office