Title:
片側に口金が設けられている赤外線放射器を有する、真空プロセスチャンバ内に赤外線を入力する照射装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018508100
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、真空プロセスチャンバ内に赤外線を入力する照射装置に関しており、この照射装置は、ガラスから成る円形管の形態の放射器ケーシング管（２）を含んでおり、かつこの放射器ケーシング管の閉じられている終端部が真空プロセスチャンバ内に突出している、片側に口金が設けられている赤外線放射器（１）と、放射器ケーシング管を保持し、かつ放射器ケーシング管を真空プロセスチャンバの開口部に気密性に通す真空フィードスルー（３）とを有しており、放射器ケーシング管内には、加熱フィラメント（６）として形成されている加熱導体と、還流部として形成されているリターン導体（７）とが配置されており、加熱導体は、真空フィードスルーによって包囲されている、放射器ケーシング管の部分区間において、接続要素（１２）を有しており、この接続要素は、放射器ケーシング管から引き出されている。高い加熱出力の場合にも、付加的な構成部分または冷却部を用いずに、特に、長いＩＲ放射器の確実な動作を保証するために、本発明では、加熱導体の接続要素（１２）が管部分（１１）を通って案内されており、かつリターン導体が、真空フィードスルー（３）によって包囲されている、放射器ケーシング管（２）の部分区間において、熱膨張を補償する手段（例えばばね要素（１４）またはスライドベアリング（１５））を有することが提案される。
Inventors:
Zeek Fleet Groove
Martin Krinetsky
Thomas piera
Sven Rinov
Thomas myr
Martin Krinetsky
Thomas piera
Sven Rinov
Thomas myr
Application Number:
JP2017545388A
Publication Date:
March 22, 2018
Filing Date:
December 23, 2015
Export Citation:
Assignee:
Heraeus Noblelight GmbH
International Classes:
H05B3/44; H01K7/00; H05B3/06; H05B3/10
Attorney, Agent or Firm:
Einzel Felix-Reinhard
Morita Taku
Junichi Maekawa
Hiroyasu Ninomiya
Ueshima
Morita Taku
Junichi Maekawa
Hiroyasu Ninomiya
Ueshima