Title:
アイソレーターシステム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6463569
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】簡素な構成で安定して操作空間内の圧力を負圧に保つことが可能なアイソレーターシステムを提供する。【解決手段】アイソレーターシステムは、内部操作を実施するための操作空間を構成すると共に、グローブ１４と、気体を取り込むための吸気口１２と、排気を行うための排気管２１に接続された排気口１３が設けられたグローブボックス１１を備え、流量調節機構２２は、排気管２１へ排気される気体の排気流量を、吸気口１２に設けられた差圧形成部１２１により、操作空間１０とグローブボックス１１の外部との間に予め設定した差圧を生じさせることが可能な排気流量に調節する。【選択図】図１
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Inventors:
Takeshi Kojima
Application Number:
JP2018552093A
Publication Date:
February 06, 2019
Filing Date:
January 05, 2018
Export Citation:
Assignee:
JGC Corporation
International Classes:
B25J21/02
Domestic Patent References:
| JPS5781338U | 1982-05-19 | |||
| JP2015226970A | 2015-12-17 | |||
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Attorney, Agent or Firm:
Patent Corporation Yayoi Patent Office