Title:
ランプの検査装置および検査方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023517257
Kind Code:
A
Abstract:
本明細書に開示される実施例は、ランプ寸法を検査するための方法および装置に関する。この方法は、ランプの実際の測定値を決定することを含む。ランプは、基板処理装置内の基板を加熱するように構成される。幅および高さを有するウィンドウが、生成される。ウィンドウは、ランプの目標測定値に基づいている。この方法は、実際の測定値の画像とウィンドウとの間の差に基づいて偏差を生成することを、さらに含む。偏差は、第１の閾値と比較される。偏差が、第１の閾値の外側にある場合、ランプは不合格になる。【選択図】図２Ａ
Inventors:
Large, Govinda
Nestrow, Willen K.
Nestrow, Willen K.
Application Number:
JP2022555180A
Publication Date:
April 24, 2023
Filing Date:
March 12, 2021
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C23C16/48; G01N21/88; G01B11/00; G01M11/00; H01K1/18
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation
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