Title:
漏れ検査装置及び方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024504908
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、漏れ検査装置（１）と、装置（１０）の漏れ穴の有無を検査する対応の方法と、を提供する。装置（１０）は、例えば、１つ又は複数の密封可能な開口を有する電気筐体などの工業製品でもよい。漏れ検査装置（１）は、ポンプ（２）と、圧力チャンバ（３）と、圧力検出部（４）と、制御・処理・決定部（５）と、ユーザインタフェイス（６）を含む。第１弁（７）は、ポンプ（２）を圧力チャンバ（３）に接続でき、第２弁（８）は、圧力チャンバ（３）を被検査装置（１０）に接続できる。ポンプ（２） は、大気などの気体源又は槽（９） に接続されている。このため、ポンプ（２）は、圧力チャンバ（３）の内部容量（３３）を加圧又は排気できる。続いて、内部容量（３３）は、装置（１０）の漏れ穴の有無を検査するために、周囲に対して密封された被検査装置（１０）の内部容量（１１）に接続されてもよい。圧力検出部（４）は、被検査装置（１０）用の検査データのセットを導出するために、高分解能を有し、内部容量（３３）内の圧力を高頻度でサンプリングできる。検査データのセットは、被検査装置（１０）の内部形状、構成、及び材料構成によって決定され、被検査装置（１０）に特有である。検査データのセットは、被検査装置（１０）における１つ又は複数の漏れ穴の存在によって影響を受けるので、制御・処理・決定部（５）は、例えば、検査データのセットを制御データのセットと比較することによって検査データのセットを分析して、被検査装置（１０）が漏れ検査に合格か否かを決定でき、漏れ検査の結果をユーザインタフェイス（６）に出力できる。図１
Inventors:
Osbural, Gerchem
Application Number:
JP2023536880A
Publication Date:
February 02, 2024
Filing Date:
December 17, 2020
Export Citation:
Assignee:
Westel Electronica Sanai Ve Tillarett a Se
International Classes:
G01M3/26
Attorney, Agent or Firm:
Ochi International Patent Office