Title:
LIGHT COLLECTION MIRROR TYPE HEATING FURNACE
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016109318
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】集光鏡方式加熱炉において、冷却効率と装置の小型化を両立させることは困難であった。【解決手段】光源から放射された光を反射鏡により反射させて被加熱物に照射させ、被加熱物を加熱するための集光鏡方式加熱炉であって、該光源及び該反射鏡と被加熱物は赤外線透過性の窓部材を有する壁により区別され独立した別の室に位置し、被加熱物表面に照射される光は、赤外線透過性の該窓部材を透過して該被加熱物に照射される集光鏡方式加熱炉。【選択図】 図１
Inventors:
IKEDA SHINICHI
MIKAHARA TAKANORI
MIURA NORIKO
KUMPUAN SOMAWANG
HARA SHIRO
ONISHI YASUHIRO
YAMADA TAKESHI
AIZAWA TAKESHI
NOGAWA MITSUNORI
MIKAHARA TAKANORI
MIURA NORIKO
KUMPUAN SOMAWANG
HARA SHIRO
ONISHI YASUHIRO
YAMADA TAKESHI
AIZAWA TAKESHI
NOGAWA MITSUNORI
Application Number:
JP2014244539A
Publication Date:
June 20, 2016
Filing Date:
December 02, 2014
Export Citation:
Assignee:
NAT INST ADVANCED IND SCIENCE & TECH
YONEKURA SEISAKUSHO:KK
YONEKURA SEISAKUSHO:KK
International Classes:
F27B17/00; C03B19/00; C03C17/22; C23C14/50; C23C16/48; C30B25/10; F27D11/02; H01L21/205; H01L21/26; H01L21/31
Domestic Patent References:
| JPH1082589A | 1998-03-31 | |||
| JPH0972669A | 1997-03-18 | |||
| JP2004303672A | 2004-10-28 | |||
| JPS5542284A | 1980-03-25 | |||
| JPH06215616A | 1994-08-05 | |||
| JPS62127472A | 1987-06-09 | |||
| JP2000138006A | 2000-05-16 | |||
| JP2002305153A | 2002-10-18 | |||
| JP2004296558A | 2004-10-21 | |||
| JPH02282689A | 1990-11-20 |
Foreign References:
| WO2013081107A1 | 2013-06-06 |
Attorney, Agent or Firm:
長谷部 善太郎
山田 泰之
山田 泰之
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