Title:
光検出センサ
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2003087739
Kind Code:
A1
Abstract:
基板１８、陰極２０および陽極２２は、ケーシング１０により画成される空間に収容されており、空間は真空とされている。陰極２０及び陽極２２は、電気絶縁性を有する基板１８の同一面上に設けられ、互いに噛み合う櫛歯形状を呈している。このため、陰極２０と陽極２２とが近接する部分の面積は大きくなることとなり、紫外線の入射により陰極２０から放出された光電子は、真空中を伝わり陽極２２により良好に収集される。
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Inventors:
北原 正
野本 佳朗
市川 典男
野本 佳朗
市川 典男
Application Number:
JP2003584639A
Publication Date:
August 18, 2005
Filing Date:
April 11, 2003
Export Citation:
Assignee:
浜松ホトニクス株式会社
International Classes:
G01J1/02; G01J1/42; H01J40/04
Domestic Patent References:
| JPS63190935U | 1988-12-08 | |||
| JPH0750149A | 1995-02-21 | |||
| JPS61267374A | 1986-11-26 | |||
| JP2000149767A | 2000-05-30 | |||
| JPH11102657A | 1999-04-13 |