Title:
投影露光装置のための照明及び変位デバイス
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015503231
Kind Code:
A
Abstract:
投影露光装置（１）のための照明及び変位デバイスは、照明視野（１８）を照明するための照明光学ユニット（２５）を含む。物体ホルダ（１７ａ）は、物体（１７）を物体（１７）の少なくとも一部を照明視野（１８）に配置することができるように装着することに使える。物体ホルダドライバ（１７ｂ）は、照明中に物体（１７）を物体変位方向（ｙ）に変位させることに使える。補正デバイス（２３）は、照明視野（１８）の少なくとも区画の照明の強度（Ｉ（ｙ））に空間分解方式で影響を及ぼすことに使え、少なくとも物体変位方向（ｙ）に沿って、照明視野（１８）の照明の強度（Ｉ（ｙ））に影響を及ぼすことの空間分解能が存在する。これは、投影露光中に存在する視野依存結像収差が投影結果に望ましくない影響を及ぼさない照明及び変位デバイスをもたらす。【選択図】図１
Inventors:
シュナイダー ソーニャ
ワブラ ノルベルト
フォン ホーデンベルク マーチン
ビットナー ボリス
シュナイダー リカルダ
ワブラ ノルベルト
フォン ホーデンベルク マーチン
ビットナー ボリス
シュナイダー リカルダ
Application Number:
JP2014542754A
Publication Date:
January 29, 2015
Filing Date:
November 05, 2012
Export Citation:
Assignee:
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
International Classes:
H01L21/027; G02B19/00; G03F7/20
Domestic Patent References:
| JP2002100561A | 2002-04-05 | |||
| JPH113849A | 1999-01-06 | |||
| JP2002015993A | 2002-01-18 | |||
| JP2000039505A | 2000-02-08 |
Attorney, Agent or Firm:
辻居 Koichi
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takayoshi Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Nobuyuki Taniguchi
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takayoshi Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Nobuyuki Taniguchi