Title:
リンク式搬送ロボット
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2014087879
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】構造が簡単で、動作時に専有する面積が小さい搬送ロボットを提供する。【解決手段】本発明の搬送ロボットは、例えば製造装置の側壁等に固定された支持部材と、ハンド部材が直線移動自在に保持された搬送アームと、第１、第２リンク部材とを備える。第１、第２リンク部材の下端部は、それぞれ、支持部材に回動自在に連結される。また、第１、第２リンク部材の上端部は、それぞれ、搬送アームに回動自在に連結される。ハンド部材は、例えば半導体ウェハ等のワークを保持・運搬する。支持部材と第１リンク部材との連結部分に与えられた回転駆動力は、所定の機構によって搬送アームに伝達されて、ハンド部材を直線移動させる。また、搬送アームは、第１リンク部材又は第２リンク部材を回転させることによって、移動する。
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Inventors:
Kenji Hirota
Shinichi Imai
Shiro Hara
Hitoshi Maekawa
Shinichi Imai
Shiro Hara
Hitoshi Maekawa
Application Number:
JP2014551046A
Publication Date:
January 05, 2017
Filing Date:
November 26, 2013
Export Citation:
Assignee:
Tatsumo Co., Ltd.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
International Classes:
B25J18/04; H01L21/677
Domestic Patent References:
| JPS62268312A | 1987-11-20 | |||
| JPH04294993A | 1992-10-19 | |||
| JPS63229289A | 1988-09-26 | |||
| JP2000254881A | 2000-09-19 | |||
| JPH1116981A | 1999-01-22 | |||
| JPS62234911A | 1987-10-15 | |||
| JPS61152387A | 1986-07-11 |
Attorney, Agent or Firm:
Hiroshi Sano
Akio Ishii
Akio Ishii