光結合点の位置特定

Japanese Patent JP2023527952

A

本発明は、光結合点（１１）を位置特定するための方法およびアセンブリ（２００）、ならびに光結合点（１１）で微細構造（１００）を生成するための方法に関する。光結合点（１１）を位置特定するための方法は、以下のステップ、ａ）光結合点（１１）を含む光学部品（１０）を提供するステップであって、光結合点（１１）が、光学部品（１０）によって取り囲まれる体積の外側に位置する相互作用領域（１５）を有する、光学部品（１０）を提供するステップと、ｂ）生成領域（１２０）において光放射を生成するステップであって、生成領域（１２０）が、光結合点（１１）の相互作用領域（１５）と少なくとも部分的に重なり、光が、生成領域（１２０）に位置する媒体（１９）に当たり、それによって、光放射が生成されるように、当該光が、媒体（１９）によって改質される、光放射を生成するステップと、ｃ）生成された光放射の少なくとも１つの部分を捕捉し、生成された光放射の捕捉された部分の空間分解分布を確認するステップであって、捕捉領域（１３０）が、光結合点（１１）の相互作用領域（１５）と少なくとも部分的に重なる、生成された光放射の少なくとも１つの部分を捕捉し、空間分解分布を確認するステップと、ｄ）生成された光放射の捕捉された部分の確認された空間分解分布から、光結合点（１１）の位置特定を決定するステップとを含む。それによって、光結合点（１１）は、１μｍより良好な相対位置決め公差で正確に位置特定することができる。したがって、光学部品（１０）への光接続の低結合損失を達成することができ、微細構造（１００）を光結合点（１１）に正確に配置することができる。

Breicher, Matthias
Ditrich, Philip-Imanuel
Koos, Christian

JP2022552417A

July 03, 2023

March 04, 2021

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Karlsruhe Institute Fur Technology

G03F9/02; G02B7/00; G03F7/20

Patent Attorney Corporation Asahina Patent Office

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