Title:
低電圧電子透過ペリクル
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2021533546
Kind Code:
A
Abstract:
１つ以上のペリクルは陰極を保護し、ペリクルは、ペリクルを越えて発生する要素からの陰極の汚染、または陰極の上もしくは近くで発生する要素からの外部装置の汚染を防ぎながら、電子が通過することを可能にする材料の薄膜から成る。ペリクルは、絶縁体によって支持される場合があり、絶縁体は同様に偏向層によって支持される。ペリクルは、陰極に対して正の電圧で維持される場合があり、そのため陰極によって陰極から離れて放出された電子を加速する電圧勾配が陰極とペリクルとの間に作り出される。ペリクルは、陰極から適切な距離に位置して、その距離での電子のエネルギーに一致する電子透過を可能にする。【選択図】図１
Inventors:
Bennett John
Application Number:
JP2021505969A
Publication Date:
December 02, 2021
Filing Date:
August 08, 2019
Export Citation:
Assignee:
Bennett John
International Classes:
H01J40/06; H01J37/065; H01J37/073
Domestic Patent References:
| JPH1031970A | 1998-02-03 | |||
| JP2011014244A | 2011-01-20 |
Foreign References:
| WO2017112937A1 | 2017-06-29 | |||
| US20130293100A1 | 2013-11-07 | |||
| US20120104272A1 | 2012-05-03 | |||
| US20170084417A1 | 2017-03-23 | |||
| CN102339699A | 2012-02-01 | |||
| EP3007199A1 | 2016-04-13 |
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Makoto Watanabe
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Makoto Watanabe